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Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統(tǒng)的低溫固化技術(shù)突破

發(fā)布時(shí)間： 2026-02-06　　點(diǎn)擊次數(shù)： 78次

產(chǎn)品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列，是專為半導(dǎo)體晶圓UV膠帶剝離工藝設(shè)計(jì)的桌面型UV-LED固化裝置。UVC-200對(duì)應(yīng)8英寸晶圓，UVC-300對(duì)應(yīng)12英寸晶圓，另提供全自動(dòng)Cassette-to-Cassette機(jī)型（UVC-200A/300A）。

2. 核心技術(shù)創(chuàng)新

365nm單波長(zhǎng)冷光源：采用水冷散熱高功率LED驅(qū)動(dòng)，輸出250mW/cm2，消除傳統(tǒng)汞燈的紅外熱輻射，實(shí)現(xiàn)真正的常溫照射，保護(hù)熱敏晶圓
往復(fù)掃描曝光：光源橫向掃描+晶圓旋轉(zhuǎn)，確保全區(qū)域光照均勻，避免局部欠固化
低耗N?吹掃：內(nèi)置自動(dòng)氮?dú)庵脫Q，抑制氧氣阻聚，氣體消耗量比傳統(tǒng)系統(tǒng)降低30%

3. 關(guān)鍵參數(shù)

指標(biāo)	參數(shù)
光源波長(zhǎng)	365nm
照射強(qiáng)度	250mW/cm2（距工件10mm）
支持晶圓	200mm/300mm
冷卻方式	水冷+風(fēng)冷
光源壽命	>20,000小時(shí)
手動(dòng)型尺寸	750×640×575mm

4. 應(yīng)用價(jià)值針對(duì)晶圓減薄/切割后的UV膠帶光降解工藝，實(shí)現(xiàn)芯片無損拾取、無殘膠剝離。相比2kW高壓汞燈，LED方案啟動(dòng)瞬間完成、能耗降低60%以上、無汞環(huán)保、光源冷態(tài)可維護(hù)，是半導(dǎo)體后道制程光固化的技術(shù)換代方案。

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