“0.1 µm 單級過濾 + 防靜電鏈”日本Suiden SCV-110DP 潔凈室專用吸塵器

發布時間： 2025-12-03　　點擊次數： 28次

在 ISO 5–ISO 8 級潔凈廠房中，一顆 0.5 µm 的逃逸顆粒就可能讓晶圓報廢、藥品批次召回。日本 Suiden（瑞電）推出的 SCV-110DP 干式潔凈室專用吸塵器，以“ULPA 末端過濾 + 防靜電整體鏈"雙保險設計，將排氣潔凈度控制在 0.1 µm 99.999 % 以上，同時整機重量僅 10 kg，可 24 h 連續作業，為半導體、制藥、食品行業提供了一款“即插即用"的微粉塵收集終端。

一、工作原理：三級過濾 + 防靜電鏈導走

一級 DP 主過濾器：聚酯特種覆膜濾芯，過濾面積 1.8 m2，可攔截 99 % 以上 0.3 µm 粒子，并支持手動抖塵，延長 ULPA 壽命
；
二級 ULPA 末端：日本原廠 U15 級超低壓損濾材，對 0.1–0.2 µm 粒子捕集效率 ≥99.999 %，排氣可直接排回 Class 100 區域，無需外接管道
；
防靜電鏈：整機從吸嘴、軟管到集塵桶全部導電材質一體成型，底部 10 cm 導靜電鏈實時泄放，避免高速粉塵摩擦產生 3 kV 以上靜電，降低爆燃風險
；
無刷渦輪：單相 100 V、1100 W 無刷電機，轉速 32 000 rpm，真空度 23 kPa，噪音 ≤58 dB(A)，滿足 ISO 14644-1 對潔凈室 ≤65 dB 的限值
。

二、硬件結構亮點
• 10 L 集塵桶：SUS304 鏡面板，桶底快拆卡扣，30 s 整桶取下，可在潔凈室外傾倒，杜絕二次揚塵；
• Φ38 mm 大口徑軟管：內嵌不銹鋼螺旋圈，耐扭結，對 0.3 µm 粒子內壁吸附率 < 1 %；
• 萬向剎車輪：前后 4 只 50 mm 導電 PU 輪，帶腳踏剎車，可在 ≤10° 斜坡定位作業，推動噪音 < 45 dB；
• 配件套裝：子母接頭、金屬伸縮管、尖吸嘴、圓毛刷、小方刷、防靜電地刷，一機覆蓋設備表面、地面與縫隙；
• 連續運行設計：電機繞組 H 級絕緣，外殼散熱鰭片 + 風冷通道，24 h 不停機溫升 < 40 K，滿足三班制產線需求

。

三、性能參數一覽

項目	參數
電源	單相 100 V 50/60 Hz
功率	1100 W
真空度	23 kPa
風量	2.3 m3/min
過濾等級	DP 主濾 + ULPA U15
0.1 µm 捕集率	≥99.999 %
噪音	58 dB(A)
集塵容量	10 L
整機重量	10 kg
防護等級	IP54

四、典型應用場景

半導體晶圓廠：設備維護時吸除金屬腔體內部硅粉，排氣直接排回 Class 1000 區域，無需外排管道，節省 30 % 建設成本
；
制藥灌裝線：生產換批間隙吸走 API 粉塵，避免交叉污染，滿足 GMP 對“可見殘留"零要求
；
食品烘焙車間：吸除生產線上的糖粉、面粉，防爆區 22 區使用，導靜電鏈確保粉塵不積聚
；
航天復合材料車間：清理碳纖維碎屑，0.1 µm 過濾防止吸入肺泡，保障職業健康。

六、操作與維護要點

• 每日作業后輕按抖塵手柄 3–5 次，減少主濾壓差，延長 ULPA 壽命；
• 當真空度下降 > 15 % 時，檢查 DP 濾芯是否堵塞，可水洗陰干后重復使用 2–3 次；
• ULPA 濾芯每年更換一次，或壓差 > 1.5 kPa 時更換，禁止水洗；
• 導靜電鏈每月檢查接地電阻 < 1 Ω，防止銹蝕失效；
• 長期不用請拔掉電源，將桶內粉塵清理干凈，并用無塵布蓋住吸入口，防止異物進入。

結語
Suiden SCV-110DP 以“ULPA 單級 0.1 µm 過濾 + 全鏈路防靜電"把潔凈室微粉塵控制濃縮進 10 kg 的推車式機身，實現 24 h 連續、58 dB 即插即排的高等級潔凈維護

。在半導體線寬不斷縮小、制藥潔凈級別持續提升的今天，它正成為 ISO 5–ISO 8 區域日常保潔、設備維護、換線清場的“標配級"微粉塵

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