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日本Tem-Tech半導體CMP漿料用壓力傳感器SE3000：高精度耐腐蝕

發布時間： 2025-07-31　　點擊次數： 242次

在半導體制造過程中，化學機械拋光（CMP）工藝對壓力控制的精度和可靠性有著要求。日本Tem-Tech的SE3000壓力傳感器憑借其高精度、耐腐蝕的特性，成為CMP漿料壓力監測的理想選擇。
高精度測量
SE3000壓力傳感器具備高精度的測量能力，其綜合精度可達±1%FS（滿量程），能夠確保在CMP工藝中對漿料壓力的精確控制。這種高精度測量對于保證晶圓表面的平整度和拋光質量至關重要。
耐腐蝕設計
該傳感器采用PFA（全氟烷氧基）一體成型的氣球結構，接觸液部分未使用金屬或O形圈，因此非常適合強酸和強堿等腐蝕性流體的測量。這種設計不僅解決了傳統氣球結構可能導致的污染和離子問題，還提高了傳感器在惡劣化學環境中的使用壽命。
廣泛的測量范圍與靈活的輸出選項
SE3000支持多種測量范圍，包括-0.1至1MPa，能夠滿足不同CMP工藝的壓力監測需求。此外，該傳感器還提供多種輸出信號選項，如4～20mADC（2線式）、0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3線式），方便與各種控制系統集成。
可靠性與維護
SE3000具備堅固的雙層隔膜設計，能夠承受高達1MPa的壓力。同時，傳感器配備了泄漏指示器，可及時通知用戶更換時間，確保設備的可靠運行。
應用場景
SE3000廣泛應用于半導體制造中的CMP工藝，用于監測漿料的壓力，確保拋光過程的穩定性和一致性。其耐腐蝕特性和高精度測量能力使其成為半導體制造中的監測設備。
總結
日本Tem-Tech的SE3000壓力傳感器以其高精度、耐腐蝕的特性，為半導體CMP工藝提供了可靠的解決方案。無論是應對強酸強堿的化學環境，還是實現精確的壓力控制，SE3000都能滿足用戶對高質量半導體制造的需求。

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日本Tem-Tech半導體CMP漿料用壓力傳感器SE3000：高精度耐腐蝕

高精度測量

耐腐蝕設計

廣泛的測量范圍與靈活的輸出選項

可靠性與維護

應用場景

總結